თერმული შოკის ეფექტი

CO2 მარცვლის მყისიერი სუბლიმაცია (ფაზის შეცვლა მყარიდან გაზზე) ზემოქმედებისას შთანთქავს მაქსიმალურ სითბოს ზედაპირული საფარის ან დამაბინძურებლის ძალიან თხელი ზედა ფენიდან. მაქსიმალური სითბო შეიწოვება სუბლიმაციის ფარული სითბოს გამო.

სითბოს ძალიან სწრაფი გადატანა მარცვლებში საფარის ზედა ფენიდან ქმნის უკიდურესად დიდ ტემპერატურულ განსხვავებას საფარის შიგნით მიმდევრულ მიკრო ფენებს შორის. ეს მკვეთრი თერმული გრადიენტი წარმოქმნის ლოკალიზებულ მაღალ ათვლის სტრესს მიკრო ფენებს შორის. წარმოებული ათვლის ძაბვები ასევე დამოკიდებულია საფარის თბოგამტარობაზე და გაფართოების/შეკუმშვის თერმული კოეფიციენტზე, ისევე როგორც ქვემდებარე სუბსტრატის თერმულ მასაზე. ხანმოკლე დროის განმავლობაში წარმოქმნილი მაღალი ათვლა იწვევს ფენებს შორის მიკრობზარის სწრაფ გავრცელებას, რაც იწვევს დაბინძურებას და/ან საფარის საბოლოო ბმის უკმარისობას სუბსტრატის ზედაპირზე.